| 光发射分光镜分析仪 |
| JP55005744 1980-1-23 发明申请 |
| 1981-8-19 |
| 目的 : 以得到一种发射光谱分析仪，其可以分析该固体表面的微小部分都具有高灵敏度和通过制造精度所产生的蒸汽从所述样品表面通过激光束plasmic和所发出的光分解与分析在制造所述气相plasmic。结构 : 所述制成的样品5在帽19的石英是由所述激光束11照射从一个用于激光功率源1，和所产生的蒸汽被发送到一个焊炬9通过一气体4高pruity的。然后，所述的微波从微波功率源8被施加，以便激活该气体中，和所述该激活的等离子火焰产生的气体是由碰撞与所述气相从该样品5在顺序以产生一等离子体的云18所述气相。所发出的光通过过渡的所述的等离子体状态，从所述激发状态到所述接地状态或所述亚稳状态，是由一光度会聚的会聚系统12，一分光单元13中的分散，接收在一个检测单元14，该部件和所述类型的谱线和所述的光强度被一个记录单元中输出17。 |
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