| 光学显微镜中设置和补偿方法 |
| JP2013160985 2013-8-2 发明授权 |
| 2017-8-9 |
| 所要解决的问题 : 提供一种补偿光学元件的设置方法和显微镜能够高精度控制参数待测溶液 : 光学元件(42)中设置的补偿方法的扫描型显微镜(10)具有 : 获取参考图像的第第一工序；第第二步骤，使补偿光学元件的照明光的波前变化成两个以上不同的状态，获取样品图像在预定范围内的多个位置在光轴方向包括 : 在每个预定位置状态；(第三)选择之间的相关值的基础上确定图像的样本图像对应对多个位置中的每一个与参考图像，在每个波前的状态；一种第四步，计算评价值的参考图像，确定图像中的预定区域在每个波前的状态，确定波前状态的评价值的基础上和波前的状态；以及第五步骤，设定补偿光学系统(42)以可在所确定的状态波前。 |
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