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产业专利数据

样品分析装置的带电粒子光束

JP52109046 1977-9-9 发明申请

1979-4-3

目的 : 以简化该结构的整个部分所述的装置的制造公共使用的各自的带电粒子用于能量分析装置和质谱仪检测器与一个检测器，还使公共使用的所述出口狭缝所述能量的所述质量光谱仪的分析装置和所述入口狭缝与一个。