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光谱仪/干涉仪测量膜的厚度在基板
FR69043355 1969-12-15 发明授权
1970-11-13
一种光束反射的膜和衬底表面。 反射光被传递到干涉仪。 后者的确定点的最大干扰处，其出口。 具体的梁红外辐射。 可偏移的光通过板的LiF。
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