| 激光扫描显微镜 |
| DE202017102836 2017-5-11 实用新型 |
| 2017-7-27 |
| 激光扫描显微镜带有部分作为照明通道和检测通道，一种焦平面(装载)样品(2)中设有与光轴(O)包括，主要包括显微镜物镜(1)，一种扫描镜头(3)，扫描镜(4)，在快速扫描方向和慢速扫描方向(x)(y)是可挠曲的，一个第一分束器(5)和检测器单元(6)，有检测器(6.1)和至少一个光学元件(6.2)，沿着光轴(O)排列的，其中，通过第第一分束镜(5)，从第第一照明单元(7)将来自反射照明光束的样品(Bi)(2)(DS)发送下一个探测光束，所述照明光束的光轴方向(α)中在检测通道耦接，使isgr照明光束的轴线(A-A)同轴，所述的照明光轴(O)延伸f.1(gr)(第一)上的第第一焦点检测像素(para1)(也被射灯)的样品(2)聚焦，从所述测量光束(Ds)，第第二检测器(6.1)上通过分光器(8)之间的第第一分束镜(5)和扫描反射镜(4)设置，第二照明单元(9)相关联，其特征在于 : 第二照明单元(9)至第二分束器(8)设置，第二照明单元(9)发出的操作梁(M1)直接或间接地，通过附加的偏转元件(10)，第二分束器(8)，并反映在所述检测通道耦合至该，其操纵光束的轴线(isml)的角度(α)在平面(S)内，所述光轴(O)相交，相对于光轴(O)倾斜，使操纵(第二ml)中is2束焦点(F1)到第第二像素(para2)样品聚焦(操作)也射灯2，并且其中第二的照明光束分束器(8)和检测梁(bi)(D1)至少部分地透过的光束操纵的至少部分反射(M1)。 |
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