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用于原子力显微镜悬臂组、包括该悬臂组的衬底表面检查装置、使用该悬臂组分析半导体衬底的表面的方法以及使用该悬臂组形成微图案的方法

US15415034 2017-1-25 发明申请

2017-7-27

一种形成微图案的方法、衬底表面检查设备、用于原子力显微镜的悬臂组、以及分析半导体衬底的表面的方法和探针头，所述方法包括在半导体衬底上形成钉扎图案；在所述钉扎图案之间的空间中形成中性图案层；以及使用原子力显微镜(AFM)检查包括钉扎图案和中性图案层的引导层的表面。