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产业专利数据

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一种高速扫描隧穿显微镜测绝缘样品膜厚形貌缺陷的方法

CN201710074930.5 2017-2-13 发明申请

2017-7-21

本发明公开了一种高速扫描隧穿显微镜测绝缘样品膜厚形貌缺陷的方法，包括恒高模式扫描隧道显微镜系统及位于该恒高模式扫描隧道显微镜系统导电电极与导电针尖之间的电介质样品，当电介质样品的介电常数大于电介质样品与针尖间辅助电介质的介电常数、且所述的导电针尖与电介质样品间的相对扫描速度v≥2.26×10¹⁰i_r(h+d)/(U_bε_rr)、扫描隧道显微镜前置放大电路带宽f_B≥v/20r＝1.13×10⁹i_r(h+d)/(U_bε_rr²)时，则电介质样品的膜厚、表面形貌、膜内损伤及电介质样品与导电电极间界面的结合特性能够被方便快捷地探测出来。