| 一种具备光学成像功能的扫描透射电子显微镜 |
| CN201621260657.2 2016-11-21 实用新型 |
| 2017-7-14 |
| 本实用新型提供了一种具备光学成像功能的扫描透射电子显微镜，包括：产生电子束的电子源、对电子束进行偏转和聚焦的电子光学镜筒、位于电子光学镜筒下方的真空腔室，真空腔室内设有样品载台；以及位于真空腔室下方的光学成像及照明装置；真空腔室内还包括：位于样品载台下方的、与定位装置相连的可移动台，可移动台上设有光学镜头和第一电子探测器，定位装置设于真空腔室内壁上，控制可移动台在水平和竖直方向移动；真空腔室底部设有一可视窗口，用于光学镜头与光学成像及照明装置进行光路互连；电子光学镜筒底部还设有第二电子探测器。本实用新型可实现光学观测与SEM观测同步进行，且可在光学观测与STEM观测之间快速切换。 |
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