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一种扫描电子显微镜和其操作方法

CZ20160300 2016-5-21 发明授权

2017-7-12

扫描电子显微镜，包括三个物镜镜片远物镜(4)和物镜(6)附近的普通型，并且，在其下方，浸没式物镜(8)的浸入式。这三个物镜的操作可独立控制的情况下，和有源透镜能够实现的各种组合。由于此，扫描电子显微镜提供多种的使用模式。可模式之间切换，从而能够选择最合适的显示你的应用方法。