在显微镜系统,显微镜系统和控制方法的程序
 
JP2015257321  2015-12-28  发明申请

2017-7-6
 
  [问题],以观察光路聚焦物镜设置在级控制。[技术方案]该显微系统,多级二维基于位置信息的物镜的位置关系,在轴向方向的Z载物台的位置信息的位置控制操作,或者,操作位置的位置信息,并将距离信息控制所述控制级。图[图5]
 
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