| 一种基于原子力显微镜的可控气氛下的多探针探测方法 |
| CN201710037466.2 2017-1-19 发明申请 |
| 2017-7-4 |
| 本发明涉及一种基于原子力显微镜的可控气氛下的多探针探测方法，该方法的主要步骤包括根据实验要求，向真空腔体内部通入设定的气氛，然后通过外部驱动装置依次原位切换具有不同功能的探针，从而实现不同功能的实验。该方法可在同一气氛下对样品原位实现微观摩擦磨损、表面形貌扫描、电学性能表征、晶体结构演变探测和摩擦能量耗散测量等不同功能的实验，无需破坏原有实验环境气氛，有效地避免了外界环境对样品的污染，并且操作便捷、效率较高。 |
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