| 一种高精密的显微镜样品实时距离及倾斜度测量装置 |
| CN201710164693.1 2017-3-20 发明申请 |
| 2017-6-30 |
| 本发明旨在提供一种高精密的显微镜样品工作距离检测及保护系统。本发明的装置包括：固定在样品上的环形机械装置，机械环引出四个顶部电极层；固定在物镜上的环形机械装置，机械环引出四个电极层；所述电容检测装置用于对光学系统移动距离的微小测量和操作。通过样品在微纳米量级的移动过程中引起的电容变化，来得到样品距离检测平台如显微物镜的实时工作距离，并在距离过于近的时候发出警示。同时多电容的分布也可用于检测样品是否倾斜，该设计测量精度高、操作简单、成本较低，是一种实用的检测方法及装置。 |
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