| 用于扫描探针显微镜探针装置及其制造方法 |
| US15378879 2016-12-14 发明申请 |
| 2017-6-29 |
| 具体的探针装置配置和生产这些探针配置的工艺。 探针装置可包括可控厚度的氮化硅悬臂，其保持可控锐度的硅探针尖端。 探针尖端还可以涂覆同样具有可控厚度的氮化硅层。 还可以形成可选的硅反射垫作为尖端的基部。 通过在硅晶片上形成针尖(任选地具有基极焊盘)、在晶片上沉积氮化硅膜、蚀刻氮化硅膜以形成保持针尖/焊盘的悬臂、选择性地蚀刻氮化硅膜以使悬臂和涂覆的针尖具有单独可控的厚度、然后蚀刻掉背面硅以留下保持氮化硅涂覆的针尖的自由氮化硅悬臂来制造探针装置。 |
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