| 减速电场扫描电子显微镜及使样品成像之方法 |
| TW102105869 2013-2-20 发明授权 |
| 2017-6-21 |
| 本发明描述一种用於使样品成像之减速电场扫描电子显微镜该显微镜包括扫描偏转总成，该扫描偏转总成经配置用於扫描样品上之电子束；一或更多控制器，该一或更多控制器与该扫描偏转总成通讯以控制该电子束之扫描模式；及结合磁性-静电物镜，该结合磁性-静电物镜经配置用於对电子束聚焦，其中物镜包括磁透镜部分及静电透镜部分静电透镜部分包括第一电极，该第一电极经配置以偏压至高电位；及第二电极，该第二电极设置在第一电极与样品平面之间，该第二电极经配置以偏压至比该第一电极低之电位，其中第二电极经配置用於提供减速电场扫描电子显微镜之减速电场减速电场扫描电子显微镜进一步包括电源，该电源连接至第二电极，用於使第二电极偏压至一电位且与一或更多控制器通讯，其中该一或更多控制器使第二电极之电位之变化与电子束之扫描模式同步 |
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