扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)样品架
 
US15374969  2016-12-9  发明申请

2017-6-15
 
  本发明涉及一种易于使用的双系统紧凑试样保持器(SH),其能够通过使用原子力显微镜(AFM)或扫描电子显微镜(SEM)来分析相同的试样, 通过保持两种显微镜的细节设置基准,使其满足尺寸、电导率、磁化率、整齐度、基准和适应性的要求;在相关显微镜范围内保持两种显微镜的细节位置基准的能力,是获得两种显微镜领域信息和图像所必需的结果,可以相互关联,从而获得有价值的组合信息。
 
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