| 扫描电子显微镜 |
| US15380366 2016-12-15 发明申请 |
| 2017-6-15 |
| 本发明涉及一种扫描电子显微镜，其通过在没有真空室的空气中检测从测试样品的表面散射和发射的后向散射电子来观察测试样品，该扫描电子显微镜允许在真空状态下观察测试样品。扫描电子显微镜可用于通过将穿过屏蔽膜的电子束聚焦在布置在电子检测器之间的第一后向散射电子检测器的顶表面上，来最小化由于电子散射而引起的穿过屏蔽膜的电子束的电子的分散 枪和屏蔽膜使电子束通过并被配置为检测从测试样品散射的后向散射电子，因为第一后向散射电子检测器设置有在其上形成有磁场的第一平面线圈。 |
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