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谐振补偿扫描探针显微镜

EP11787117 2011-5-13 检索报告

2017-6-14

一种方法，包括 : 产生，使用传感器，数据信号。基于所述数据信号包括第第一部件的第第一方向的运动致动器第一中的样品和探头之间提供运动方向，样品第一的方向基本上在平面；和第二组分基于至少一个样品中的第二方向的地形变化，样品和材料性能。该方法还包括生成使用处理器，基于一补偿信号第一的部件产生的传感器数据信号；并提供补偿信号到致动器。