| 优化的信号采集系统，用于检测阴极，光谱分辨率和亮度的保存，并实现显微镜系统 |
| EP14156672 2011-4-29 发明授权 |
| 2017-6-14 |
| 可调系统，包括收集光学器件(112)，用于收集从样品中获得的光辐射照射束带电粒子和反射的光辐射到分析单元，该集光镜片沿尺寸定位装置，外圆柱形管，其设置有相对于光反射的辐射的传播轴所述集光并刚性地固定到收集光学器件，和置于外筒内的圆柱形管(306)，用于接收所述光辐射的适配单元。可调系统，包括收集光学器件(112)，用于收集从样品中获得的光辐射照射束带电粒子和反射的光辐射到分析单元，该集光镜片沿尺寸定位装置，外圆柱形管，其设置有相对于光反射的辐射的传播轴所述集光并刚性地固定到收集光学器件，置于外筒内的圆柱形管(306)，用于接收所述光辐射自适应单元，用于注入光纤(116)的光辐射，源用于发射光束的光传播辐射的光的传播方向相反，一种辐射单元，用于对所述光由收集光学器件收集，和密封单元。该定位单元包括元件的集光方向水平移动的空间，一单元，用于收集光学器件绕旋转轴线转动，与活动转盘。收集光学器件包括抛物面反射镜和平面或椭圆镜与聚光透镜的平面镜的下游，并集成到移动转盘。所述内筒相对于外筒自由旋转。所述适配单元，被配置为根据采集到的光的照射角度和尺寸根据检测器或光纤的大小和开口，且所述下游集光镜片。光束被引导朝向样品通过该集光镜片。所述分析单元包括光谱仪，电荷耦合器件摄像机或光电倍增管。所述收集光学器件被放置在腔室(302)的压力小于大气压。所述适配单元放置在环境压力大于压力室中。所述密封单元之间放置腔和自适应单元，用于保持室中的压力。本发明涉及一种用于显微镜。 |
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