| 一种高精度显微镜装置 |
| CN201710059810.8 2017-1-24 发明申请 |
| 2017-6-13 |
| 本发明提供一种高精度显微镜装置,包括支座、目镜、光学连接件、物镜、载物平台、驱动组件以及控制组件,驱动组件包括:X轴驱动组件、Y轴驱动组件、Z轴驱动组件;光栅尺组件,光栅尺组件用于检测载物平台在X轴方向和Y轴方向上的移动以及物镜在Z轴方向上的移动;控制组件,用于根据光栅尺组件的检测结果控制X轴驱动组件、Y轴驱动组件、Z轴驱动组件。本发明的有益效果:实现手动控制和自动控制两种功能于一体,通过设置光栅尺组件以提高控制组件的控制精度,在Z轴方向通过调整物镜的位置来调整物镜与载物平台的相对距离,相比现有技术中通过调整载物平台来调整物镜与载物平台之间的相对距离,稳定性更好、定位精度更高。 |