| 扫描电子显微镜 |
| JP2015235239 2015-12-1 发明申请 |
| 2017-6-8 |
| [A]从样品发射的光可以取出效率高于现有的扫描型显微镜。[技术方案]该扫描显微镜光源101，103，108(104)和从所述样品发出的光扫描装置，聚光光学系统(107)和导向，用于引导照明光从所述中继光学系统105的物镜光学系统，所述扫描装置照射的光的光路设置，所述光路的光，从所述样品发出的通过所述物镜光学系统，分离装置(110)和中继光学部件和光穿过光路的注射装置，以及用于检测从装置113发出的光，具有，中继光学系统，所述中继光学系统的入射光瞳的出射光瞳的相对位置不改变的继电器光学系统(106)和检测装置，和，在不改变中继光学系统的入射光瞳瞳直径，所述中继光学系统的光瞳直径是可变的。图[图1] |
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