| 扫描电子显微镜 |
| JP2015235240 2015-12-1 发明申请 |
| 2017-6-8 |
| [A]从样品发射的光可以取出效率高于现有的扫描型显微镜。[技术方案]该扫描显微镜光源102，112，109和从所述样品发出的光扫描装置，从光学系统发出的光导向装置(111)和试样，样品从照明光的光路通过注射到光经过光学系统路径分离装置(108)和注射，装置，用于检测从装置116发出的光，其中，分离装置光源和光路之间的照射光学系统包括光学环行器的设置，发射光，仅分离装置之间的自由空间传播的光学系统。图[图1] |
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