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扫描电子显微镜结构分析方法

US15286678 2016-10-6 发明申请

2017-6-8

一种使用扫描电子显微镜的结构分析方法，包括用具有第一着陆能量的电子束照射样品以在样品的第一深度处获得第一图像，以及加速电子束以具有高于第一着陆能量的第二着陆能量以在样品的第二深度处获得第二图像。