| 带电粒子束装置和扫描电子显微镜 |
| WOJP16085406 2016-11-29 发明申请 |
| 2017-6-8 |
| 带电粒子束装置具有 : 一个用于发射带电粒子射束的带电粒子源(12)；一种加速电源连接到所述带电粒子源，所述加速度加速的带电粒子束(12)供电；第第二物镜(26)，用于聚焦带电粒子束(12)上的样品(23)；第第二检测器(110)。第第二物镜(26)安装在相对的一侧，其中所述带电粒子束(12)照射在所述样品(23)。从样品发射的电磁波(23)在左右方向上与所述带电粒子束(12)的撞击和/或电磁所述样品(23)反射的电磁波入射到第第二检测器(110)。第第二检测器(110)检测照射的电磁波。 |
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