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红外散射方法和设备与背景抑制扫描近场光学显微镜
EP16201259 2016-11-29 发明申请
2017-6-7
光学特性测量系统和方法的样品的亚微米区包括相互作用的探针探针显微镜的尖端与样品区域,与光束照射样品,由辐射源,以使光线散射,从所述探针-样本交互区域,干扰散射的光,其中所述参考光束与参考光束具有可调节的光相位,与探测器测量散射光的至少一部分探针-样本和背景区域的基本上恒定的基准相位,构建的光学特性信号指示所述样品的背景散射光的贡献显著抑制。
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