| 激光准直显微镜 |
| RU2015150927 2015-11-27 发明申请 |
| 2017-6-1 |
| FIELD：physics.SUBSTANCE：显微镜包含两个测量通道。 第一通道包含波长λ的辐射源，第一准直透镜，沿光束路径定位的第一分束器，第一光谱分束器和聚焦透镜位于其反射光束中，受控表面位于其物平面中。 在来自被监控表面的反向的第一分束器的折射光束中，设置第一透镜和第一多元件辐射接收器。 第二通道由具有波长λ的辐射源和沿光束路径设置的第二准直透镜、第二光谱分离器组成，第二光束分离器位于其反射光束中，并且在来自被监测表面的反向折射光束中，第二透镜和第二多元件辐射接收器位于其反射光束中。 在第二分束器的反射光束中，定位第一光谱分束器.效果：在单个装置上的高精度角度和线性测量的可能性和S.23 Cl, 9 dwg的最小化 |
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