扫描显微镜
 
US15363494  2016-11-29  发明申请

2017-6-1
 
  一种扫描显微镜,包括 : 扫描单元,使光源发射的照射光扫描样品, 光学系统,其将通过所述扫描单元的所述发射光引导至所述样品;隔离单元,其包括透射部分和反射部分,所述透射部分使得所述照射光能够通过所述透射部分,所述反射部分反射包括在由于所述照射光被辐射至所述样品而从所述样品产生的发射光中并且通过所述光学系统和所述扫描单元的光中的至少一些光;以及检测单元,其检测通过所述隔离单元的所述发射光。 隔离单元设置在光源和扫描单元之间的照射光的光路中。
 
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