| 显微镜观察方法，以及控制程序 |
| WOJP15083509 2015-11-27 发明申请 |
| 2017-6-1 |
| [问题]为了提供一种显微镜照明样品从样品的方向倾斜，所述显微镜能够良好地获得不等厚试样的截面图像。[解决方法]一种显微镜(1)照明光学系统(4)上设有放射照明光L的样品(S)从一个方向倾斜于所述试样(S)，观察光学系统(5，30)具有物镜(21)，以及控制单元(9)，用于移动所述物镜和/或阶段(2)，用于保持样品中所述光轴方向相同的物镜(21)，该控制单元改变照明光的入射角度在样品台移动时和/或物镜。 |
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