| 探头扫查机构，探头装置和扫描探针显微镜 |
| WOJP16084534 2016-11-22 发明申请 |
| 2017-6-1 |
| 探头扫查机构(10)具备 : 压电元件(15)，其具有第第一贯通孔(15)通过两端的方向相同探针(20)的方向延伸并且扫描探针(20)插入第第一贯通孔(15)在延伸方向上的探头(20)；壳体(11)，用于容纳压电元件(15)；一对支撑构件(12)，12)一端固定，另端，分别，所述壳体(11)和压电元件(15)支撑在壳体(11)与压电元件(15)在其间；固定件(14)固定在一个所述一对支撑构件(12)，12)在涨缩轴方向一端的压电元件(15)并且将所述弹性元件的所述对中的另一端在膨胀/收缩的压电元件(15)的轴方向；以及保持构件(16)，用于固定探头第一的内部(20)中的通孔(15)所述探针上的至少前端侧(20)。 |
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