| 电子显微镜的工作距离的校准装置 |
| CN201611135920.X 2016-12-9 发明申请 |
| 2017-5-31 |
| 本发明提供了一种电子显微镜的工作距离的校准装置，该校准装置包括：校准基体(10)，用于安装在电子显微镜的样品台上，校准基体(10)具有沿其轴向且朝向电子显微镜的物镜极靴设置的若干个校准平面(121)及向物镜极靴突出且通过与物镜极靴接触配合以实现校准基体(10)定位的定位凸起(11)，若干个校准平面(121)中至少一个校准平面(121)上设有具有聚焦功能的至少三个校准孔(131)，在电子显微镜聚焦不变且所有校准孔(131)同时聚焦清楚时，物镜极靴的下表面至每一校准平面(121)的距离为电子显微镜设定的工作距离。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中没有校准装置对扫描电子显微镜的工作距离的问题。 |
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