| 过滤器组件，用于辨别二次反向散射电子在非透射的带电粒子显微镜 |
| EP15196917 2015-11-30 发明申请 |
| 2017-5-31 |
| 检测样品的方法，在非带电粒子显微镜的传输，包括以下步骤 : 提供一样品试样架上；引导带电粒子照射的光束从光源通过照明装置，以照射所述样品中；产生相对运动的光束相对于所述样品，以描绘出扫描路径；用一个检测器，用于检测从试样发出的电子在磁通响应于所述辐照，所述过滤器组件被设置在所述试样和照明装置，和用于操作所述电子通量，以便 : 优先通过第一类电子检测器；选择性地妨碍了电子从注册第二类由检测器，其中 : -第一中的电子类别具有类别中的电子能量高于第二；-过滤器组件使焊剂中的电子的偏转，其偏转所述第一和第二不同的类别。 |
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