| 一种带电粒子束装置，电子显微镜，样品观察方法 |
| JP2016552760 2014-10-9 发明申请 |
| 2017-5-25 |
| 电子显微镜的样品观察高度准确和稳定。所述样品台，电子束对样品进行扫描(111)和光学系统，所述真空系统和真空阶段和保持电子光学系统，检测从样品发射的二次电子(109)和次生电子检测器，用于检测变速器的电子检测器(113, 116)发送所述样品E，其中，所述发送电子检测器检测的二次电子，二次电子检测器基于传输电子，通过透射电镜图像采集和二次电子图像，其中，所述控制单元(117)和所述二次电子图像和透射电子图像存储，电子显微镜，所述样品台，设置有冷却装置(122, 123)的样品，所述真空系统，所述的水分捕集器(120)的附近，所述的真空度与真空表(121)测量真空系统，提供。 |
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