设置和补偿光学显微镜的方法
 
JP2013160988  2013-8-2  发明授权

2017-5-17
 
  所要解决的问题是 : 本发明提供一种补偿光学元件的设定方法及显微镜,其不使用荧光就能够求出相对于补偿光学元件的高精度的控制参数。 一种在扫描显微镜(10)中设置补偿光学元件的方法,具有 : 第一步骤,通过利用第一波长的照明光获取参考位置处的样品图像来确定感兴趣区域; 第二步骤,通过第二波长的照明光获取参考位置处的参考图像; 第三步骤,使补偿光学元件42将照明光的波前改变为两种以上的不同状态; 以及在每个状态下,通过所述第二波长的照明光获取在包括预定位置的光轴方向上的预定范围内的多个位置处的堆叠图像; 第四步骤,计算所述叠加图像和所述参考图像之间的相关值以选择确定图像; 第五步骤,从参考图像和确定图像确定控制参数的最佳值; 以及第六步骤,将最佳值设定为补偿光学步骤42。
 
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