| 於动态模式原子力显微镜之成像期间确定交互作用力 |
| TW105124288 2016-8-1 发明申请 |
| 2017-5-16 |
| 一种用於动态模式原子力显微镜(AFM)中校正作用力(F12)之方法以及系统一原子力显微镜尖端(11)系设置於一第一悬臂(12)上致动第一悬臂(12)以於动态模式下振荡原子力显微镜尖端(11)一第一感测器(16)用以测量振荡的原子力显微镜尖端(11)之一第一参数(A1)一第二感测器(26)用以测量一弹性元件(22)之一第二参数(A2)当测量原子力显微镜尖端(11)之第一参数(A1)以及弹性元件(22)之第二参数(A2)时,将原子力显微镜尖端(11)移动接近弹性元件(22)根据弹性元件(22)之测量到的第二参数(A2)以及一校正过的作用力常数(K2)计算振动的原子力显微镜端部(11)以及弹性元件(22)之间之作用力(F12) |