| 一种新型扫描电镜样品台 |
| CN201621255092.9 2016-11-23 实用新型 |
| 2017-5-10 |
| 本实用新型提供一种新型扫描电镜样品台，包括样品台和样品固定夹，样品固定夹包括弹性球以及呈夹角的连接段和压紧段，压紧段通过连接部件与样品台边缘转动连接，连接段自由端通过弹性球与样品台连接，弹性球中充有气体。当系统的气压逐渐下降时，弹性球逐渐增大，推动连接段旋转，使压紧段压在样品表面，且该压力随着系统气压的下降逐渐增大，从而实现样品的固定；该样品台兼容性好、自动化程度高，适用于薄片状样品或带磁性样品的固定，能有效防止样品在高真空环境下从样品台脱落。 |
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