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芯片载台及样本分析仪
CN202223527890.0 2022-12-29 实用新型
2023-7-7
本实用新型公开了一种芯片载台及样本分析仪,芯片载台包括导热座;所述导热座的顶部设置有多条相互导通的真空槽;每条所述真空槽均与芯片上的密封胶条相对;每条所述真空槽的宽度均小于与其相对的密封胶条的宽度。本实用新型通过真空槽的宽度均小于与其相对的密封胶条的宽度的设置,减小了真空槽里产生的吸附力对于芯片变形的影响。
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