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一种用于透射电镜电子束产生
WOEP16075202 2016-10-20 发明申请
2017-4-27
在一个方面中,本发明提供了一种透射电子显微镜中产生的电子束装置。所述方法包括 : 产生电子脉冲[306]由脉冲式电子光源[300],第第一谐振加速电子脉冲微波腔[302],经过加速后的电子束的脉冲通过一漂移区域[314],校正所述加速后的电子束的脉冲能量扩展度在第二谐振微波腔[304],通过对它操作。异相90度从第一谐振腔[302]。
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