| 数据传输的方法，表面样品表面上的测量结果，扫描探针显微镜系统 |
| WONL16050720 2016-10-21 发明申请 |
| 2017-4-27 |
| 本文档涉及一种数据传输的方法，表面样品表面上的测量结果，利用扫描探针显微系统。所述系统包括 : 支撑结构，用于支撑样品的样品，传感器包括悬臂和探针装置包括一探针头端部，其设置在悬臂上，和致动器，用于相对于衬底扫描探针针尖表面的映射的纳米结构。所述方法包括以下步骤 : 使用致动器和移动该探针悬臂振动相对于衬底表面，用于执行所述扫描。探针保持在距离衬底表面上，以便允许在多个接触间歇探针针尖的表面之间的接触时刻在所述悬臂的振动。悬臂振动的步骤和移动所述探针是同时进行的。用于执行表面测量，所述方法包括 : 获得传感器信号指示在所述扫描探针针尖的位置，通过定量测定和分析该信号的傅里叶变换中的两个或更多的频率分量确定的估计所述基板之间的力的力值在所述接触面与所述探针吸头的方法。 |
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