| 嵌套压电管驱动多维可脱离压电马达及扫描探针显微镜 |
| CN201510679818.5 2015-10-16 发明申请 |
| 2017-4-26 |
| 本发明公开了一种嵌套压电管驱动多维可脱离压电马达及扫描探针显微镜，特征是第一支撑环固定于筒形框架内壁，筒形框架上端与第一环形滑片间的弹簧将第一环形滑片压于第一支撑环上，第一套管与第一环形滑片共轴固定，第一滑杆套于第一套管内并通过簧片与之相压；X压电管套于筒形框架内并与之下端固定，第二支撑环固定于X压电管自由端，弹簧将第二环形滑片与第二支撑环相压，第二环形滑片将第一套管或第一环形滑片套入其内；第二套管固定于Z压电管自由端，第二滑杆套于第二套管内并通过簧片与之相压，构成Z马达，Z马达安装于第一套管与第一滑杆之间以驱动第一滑杆在第一套管中步进。本发明既能实现多维步进，又能实现多维脱离。 |
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