| 扫描探针显微镜 |
| JP2015201810 2015-10-13 发明申请 |
| 2017-4-20 |
| 可以容易地调节光轴的光轴[向]内的聚光光学系统的扫描探头显微镜非常小。激光光源14[a]，准直透镜15，透镜16来自所述聚光光学系统(31)，悬臂，以及检测器，激光光源(14)的一端固定的聚光光学系统(31)包括圆柱形筒体32，内筒32同轴设置，该激光光源，准直透镜14的近端15固定的，所述聚焦透镜(16)固定到筒状镜座33的相对端包括扫描探头显微镜所述镜头座33外表面上的环形弹性构件(45，46)安装配置。图[图1] |
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