| 扫描带电粒子显微镜 |
| JP2015204213 2015-10-16 发明申请 |
| 2017-4-20 |
| [问题]本发明涉及一种带电粒子束扫描样品表面的带电区域中所指定的照射位置粒子束扫描的带电粒子显微镜，用于测量物理量在短时间进行修正。在带电粒子束扫描带电粒子束的控制目标范围[解决方案]10，第一部分1参比探测器及测量探测器9，所述检测器11，用于测量物理量的预定为第二 : 2，测得值与参考扫描获得的图像的基准部22，物理量测量部分，用于测量一个预定的扫描范围测量的物理量23，所述的被测物理量取得部取得部(24)和平行部分；部分图像的参照漂移量计算部(25)的照射位置漂移，带电粒子束的照射位置校正部(26)上设有带电粒子束扫描带电粒子显微镜(1)。图[图2] |
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