| 一种基于石英音叉探针的深空环境原子力显微镜系统的卧式探头装置 |
| CN201610953630.X 2016-11-3 发明申请 |
| 2017-4-19 |
| 本发明公开了一种基于石英音叉探针的深空环境原子力显微镜系统的卧式探头装置，该卧式探头装置由石英音叉(1)、二自由度位移台(2)、样品台(3)、逼近组件(4)、导轨(5)、三维扫描器(6)、支架和滑块组成。本发明卧式探头装置采用逼近组件将样品移送至可与探针产生有效原子力的范围，利用三维扫描器控制双臂配平的石英音叉探针对样品进行扫描，通过提取力传感信号实现对原子力显微镜的动态控制并最终获取样品表面信息。卧式结构设计可使所探测原子力方向与石英音叉探针重力方向相互垂直，并降低深空环境原子力显微镜系统的重心，能有效避免重力对原子力测量的影响，大大提高深空环境原子力显微镜系统稳定性和抗震性，从而满足深空环境中对样品测量成像的要求。 |
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