| 带电粒子显微镜中高温样品的研究 |
| US15206523 2016-7-11 发明申请 |
| 2017-4-13 |
| 一种在带电粒子显微镜中检查样品的方法， 包括以下步骤 : 在样品架上提供样品；将样品加热到至少250°C的温度；将来自光源的带电粒子束引导通过照明器以照射样品；使用检测器来检测响应于所述照射而从样品发出的电子通量， 其中所述检测器包括 : 闪烁器模块，其响应于所述通量中的电子的撞击而产生光子；光子传感器，其用于感测所述光子，并且被配置为 : 优先地记录与所述闪烁器模块上的电子的撞击相关联的第一类光子；选择性地抑制包括来自加热样品的热辐射的第二类光子。 |
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