| 原子力显微镜悬臂及更换方法 |
| JP2015195767 2015-10-1 发明申请 |
| 2017-4-6 |
| [问题]为了便于更换的悬臂，悬臂运动部件的重量，可以准确测量出原子力显微镜悬臂及变速方法。[解决方法]本发明应用于原子力显微镜1，20和30上设置有悬臂衬底部，UV可固化粘合剂涂敷到衬底20和40，所述UV可固化粘合剂40连接底座20上的，透射UV光(50)和玻璃楔形，5051)，设置在光反射膜60的上表面存在玻璃楔形，60，71，72，73直到下表面的光反射膜，设置在所述压电元件(70)，所述通孔，所述反光膜(60)通过孔(73)照射光，光反射膜60反射的光而通过该位移的压电元件(70)带激光位移计(90)，被提供。图[图1] |
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