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设有扫描透射电子显微镜电子能量损失分析装置及观察方法
WOJP15077411 2015-9-29 发明申请
2017-4-6
本发明的目的是一种亮场杆,暗场图像杆在高分辨率下观察黄鳝低加速电压。在设有透射扫描电子显微镜电子能量损失分光镜(17),本发明涉及改性的样品相对于所述光轴方向的定位的一次为了控制电子束检测器捕获的每一个角杆(11,13),分光镜(17)的电子能量损失。根据本发明,散射角度为最佳的每一个亮场杆,暗场杆,黄鳝容易控制,同时抑制色差发生伴随的捕捉角度控制。
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