| 扫描电子显微镜SEM图像采集装置和图像获取方法 |
| WOJP16076631 2016-9-9 发明申请 |
| 2017-4-6 |
| 相对于扫描电子显微镜(SEM)图像采集装置和SEM图像采集方法，本发明的目的是电子束扫描从而获取图像对应像素合成相同的情况下，不同的扫描方向的图像获取，并获取与合成图像的像素信号从同一掩模上的位置。本发明具有如下 : 扫描信号产生装置，用于旋转扫描方向上扫描的电子束到样品上，和用于产生扫描信号，该信号被发射到样品上的位置对应同一区域在样品和相同的像素；一个偏转装置的基础上发射电子束所产生的扫描信号；一种检测装置，用于检测放大的信号放大照射样品，该样品上的位置与电子束；以及图像生成单元，用于生成图像时的样品上的对应位置相同在样品被照射区域和相同数目的像素，这种生产的基础上进行检测和放大的信号。 |
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