| 噪声抑制方法和系统在多波束扫描电镜系统 |
| WOUS16052519 2016-9-19 发明申请 |
| 2017-3-30 |
| 本发明公开了一种扫描电镜系统。所述系统包括多波束扫描电子显微镜(SEM)子系统。SEM子系统包括多束电子束源配置成产生多个电子束，成用于固定样品的样品台，电子-光学组件，以及检测器组件被配置成检测多个电子信号的光束从样品表面形成多个图像，每个图像相关联的多个电子束的电子束。所述系统包括 : 控制器，被配置为接收从图像检测器组件，比较两个或更多的图像，以识别普通两个或多个图像中存在的噪声分量，以及去除所识别的公共一个或多个所述多个图像中的噪声成分的图像。 |
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