| 焦点调节方法和系统的多波束扫描电镜系统 |
| WOUS16053466 2016-9-23 发明申请 |
| 2017-3-30 |
| 本发明公开了一种扫描电镜系统。所述系统包括多波束扫描电子显微镜(SEM)子系统。SEM子系统包括多束电子源构造成用以形成多个电子束，成用于固定样品的样品台，电子-光学组件以将所述电子束到样品的一部分，以及检测器组件被配置成同时采集多样品表面的图像。所述系统包括 : 控制器，被配置为接收从图像检测器组件，确定最佳焦点图像的图像，通过分析一个或多个图像的图像质量参数，和将多透镜阵列来调节基于一个或多个电子束的焦点聚焦电子束相对应的确定的最佳聚焦图像。 |
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