| 一种基于惯性压电马达的扫描隧道显微镜 |
| CN201610865249.8 2016-9-29 发明申请 |
| 2017-3-29 |
| 本发明涉及一种基于惯性压电马达的扫描隧道显微镜，包括一个压电扫描管，T型绝缘导轨，四个氮化硅圆珠，金属弹片，滑杆，镜体和探针。其中，四个氮化硅圆珠和金属弹片粘接在绝缘导轨之上，通过挤压方式固定其内的滑杆。绝缘导轨粘接固定于压电扫描管一端，压电扫描管的另一端粘接固定于显微镜镜体上。基于滑杆的惯性，给压电扫描管的四个外电极施加一路脉冲电压信号即可实现滑杆的纳米级步进。步进完成后，给压电扫描管四个外电极施加两路频率不同的推挽电压信号即可实现样品表面的XY方向扫描，压电扫描管的内电极用于扫描反馈控制。本发明结构非常简单，仅采用一个压电扫描管即可实现纳米级步进和原子精度扫描，非常适合在极低温和超强磁场等对显微镜镜体有较大限制的极端条件下使用。 |
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