| 具有改进的带电粒子显微镜的分光功能 |
| EP15186664 2015-9-24 发明申请 |
| 2017-3-29 |
| 本发明的带电粒子显微镜包括 : 一个光源，用于产生光束的光轴的光束沿粒子的带电粒子；一种标本夹，用于保持被测试样品上平面S‘延伸的光轴垂直于所述颗粒；一个照明装置，用于将所述辐射束以照射所述样品中；一种成像系统，用于接收带电粒子从样品通量并将其引导到传感器；-检测器装置D，用于检测从样品发出的X射线通量响应于所述辐照，所述检测装置包括一组离散的子检测器D‘沿相互不同的测量方向相对于样品架，其中 : 一种第一极片60的样品第一上靠近侧平面，是一种极值的极片，所述发光装置；一种第二极片80上靠近第二侧的样品平面，所述成像系统是极端的极片；-每个所述极片具有大致截头圆锥形式，在其面向样品平面并终止于各自的截断面(63，83)，其中，所述组的子检测器D‘是可移动的，可 : 配置成测量配置，用于检测所述X射线通量的目的；回缩到收纳构造，当不使用用于检测所述X射线通量；由此，所述测量配置中 : --所述的副检测器第一的子组位于所述样品的所述第一侧平面，第一外周边形成的垂直投影所述第一样品平面(63)上的截断面；--所述的副检测器第二的子组位于所述样品第二的侧平面，第二外周边形成的截断面83上的垂直投影，所述第二样品平面。 |
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