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显微镜以及观察方法
JP2015180297 2015-9-14 发明申请
2017-3-23
[问题]为了减小像差的光学显微镜装置。[解决方案]该显微镜(1),所述照明光学系统的照明光照射样品4S,前段的照明光的波前(5)和调整,样品表面8的表面形状和截面,利用所述结果的检测面,所述计算出的像差的像差计算部(9),基于像差计算的计算结果,所述波前10部分和控制部分,平面调节部,所述受控于来自样品的光检测部(6),(7)和提供。图[图1]
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